本次呈現(xiàn)的半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠房整體風(fēng)格簡約專業(yè),兼具工業(yè)嚴(yán)謹(jǐn)性與潔凈生產(chǎn)適配性。廠房外立面采用淺灰色工業(yè)涂層搭配大面積隔音保溫玻璃,既保障建筑密封性,又滿足車間自然采光需求,入口區(qū)域預(yù)留潔凈風(fēng)淋室安裝位,從源頭把控潔凈度。
車間統(tǒng)一遵循半導(dǎo)體級潔凈標(biāo)準(zhǔn),地面為淺灰色防靜電環(huán)氧地坪,墻面采用白色無縫抗菌涂層,消除清潔死角。各車間功能精準(zhǔn)分區(qū):外延生長車間預(yù)留恒溫恒濕及氣體管路接口,適配高純度氣體輸送;光刻車間采用密閉避光設(shè)計(jì),預(yù)留高效過濾送回風(fēng)系統(tǒng);蝕刻車間強(qiáng)化耐腐蝕處理,配備排風(fēng)凈化預(yù)留接口;封裝測試車間規(guī)劃分區(qū)工位,預(yù)留精密檢測設(shè)備安裝基礎(chǔ)。
全車間層高統(tǒng)一達(dá)5米,預(yù)留管線鋪設(shè)與設(shè)備安裝空間,地面隱形標(biāo)識劃分人流、物流通道,墻面預(yù)留標(biāo)準(zhǔn)化電源及監(jiān)測接口。整體設(shè)計(jì)既符合半導(dǎo)體器件生產(chǎn)對潔凈、防靜電、防污染的嚴(yán)苛要求,又通過統(tǒng)一風(fēng)格實(shí)現(xiàn)廠房內(nèi)外視覺協(xié)調(diào),為高效合規(guī)生產(chǎn)奠定基礎(chǔ)。